Anonim

Pegasuksen syväreaktiivisen ionietsauksen (DRIE) työkalu yhdistää useita edistysaskeleita, mukaan lukien erittäin yhdenmukainen korkean tiheyden plasmalähde, jotta etsausnopeudet voivat olla jopa 25 µm minuutissa, ja materiaalin ominaisuudet vaihtelevat minimaalisesti kiekon välillä.

Laitteita voidaan käyttää sellaisten laitteiden luomiseen, kuten RF- ja optiset MEMS: t ja mikrofluidikot, sekä syvien, kapeiden virheiden muodostamiseksi sirujen pinojen yhdistämiseksi järjestelmässä paketissa.

"Jotta yksi aktiivinen kerros voidaan yhdistää toiseen, sinun on etsattava toisiinsa liitetyt maljat ohennettujen sirujen kautta", kertoi STS: n teknologiajohtaja Andrew Chambers.

n

"[DRIE] antaa sinulle tarvittavan mittasuhteen, puhut tässä malleista, jotka saattavat olla 200 μm syviä ja 20 μm leveitä", hän sanoi.

Pegasus on kehittäminen alkuperäisestä DRIE-prosessista, jonka Bosch on patentoinut ja jonka STS on lisensoinut vuonna 1994, kun etsausnopeus oli vain 3, 3 µm minuutissa.